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離子銑刻蝕技術(shù)——罡正不銹鋼

離子銑，也稱為離子束刻蝕。是具有強(qiáng)方向性等離子體的一種物理刻蝕機(jī)理，它能對小尺寸圖形產(chǎn)生各向異性刻蝕。

離子銑有兩個重要的優(yōu)點(diǎn)：定向性和普適性?？涛g的定向性是由于離子束中的離子是通過一個強(qiáng)垂直電場來加速的，反應(yīng)室中的壓力很低，因此原子間的碰撞幾乎是完全是不可能的，結(jié)果，當(dāng)原子撞擊晶圓片表面時其速度是近乎完全垂直的。因?yàn)樗桥c化學(xué)特性無關(guān)的，因此對任何材料都可做各向異性刻蝕。

離子銑的第二個優(yōu)點(diǎn)是它可以用來刻蝕各種不同類型的材料，包括很多化合物和合金材料，即便它們沒有適當(dāng)?shù)膿]發(fā)性刻蝕生成物。靶的刻蝕速率由于材料不同所引起的變化一般不會超過三倍。

離子束最小直徑約10nm，離子束刻蝕的結(jié)構(gòu)最小可能不會小于10nm。聚焦離子束刻蝕的束斑可達(dá)100nm以下，最少的達(dá)到10nm，獲得最小線寬12nm的加工結(jié)果。相比電子與固體相互作用，離子在固體中的散射效應(yīng)較小，并能以較快的直寫速度進(jìn)行小于50nm的刻蝕，故而聚焦離子束刻蝕是納米加工的一種理想方法。